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更新日期：2025-02-13
型號(hào)：AWL系列
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
晶圓缺陷光學(xué)檢測(cè)設(shè)備是由高精度光學(xué)檢測(cè)顯微鏡搭載全自動(dòng)晶圓搬運(yùn)系統(tǒng)組成，支持4-12寸的晶圓尺寸，可輕松實(shí)現(xiàn)多角度、全視野的宏觀檢查、以及晶圓微觀細(xì)節(jié)的高清捕捉，可對(duì)半導(dǎo)體過程工藝中的關(guān)鍵參數(shù)、缺陷問題進(jìn)行有效監(jiān)控，是晶圓來料檢測(cè)和工藝控制流程缺陷分析的高效利器。
更新日期：2025-02-14
型號(hào)：
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
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